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卡尔蔡司申请从动化机械调整粒子束柱方式专利
国度学问产权局消息显示，卡尔蔡司MultiSEM无限义务公司申请一项名为“从动化机械调整粒子束柱的方式，相关计较机法式产物以及粒子束柱”的专利，公开号CN121359235A，申请日期为2024年6月。本发现公开了用于粒子束柱的多种从动化机械调整方式。举例来说，聚光器透镜系统、检测系统和物镜系统。机械调整方式可取电气调整方式连系。
